이제는 귀중한 장비를 오븐으로 만드는 것을 그만두세요. 일반적인 대류식 건조 방식은 결국 장비의 내부 전체를 거대한 토스터처럼 만들어버립니다. 그 이유는 공기를 가열하기 때문입니다. 공기가 가열되면 내부 벽까지 함께 뜨거워집니다. 이는 엉망진창인 상황입니다. 비싼 장...

OLED 리소그래피 라인에서는 드리프트를 허용할 수 없습니다. 포토레지스트 베이크 중 0.5℃ 차이만으로도 크리티컬 치수가 변화하여 마스크 레벨 전체가 폐기될 수 있습니다. 열 예산을 단순한 부가 사항이 아닌 실제 공정 파라미터로 다루는 건조 램프가 필요합니다. 내부...