클린룸 장비의 과열을 막으세요.
대부분의 사람들은 물건을 따뜻하게 하기 위해 대류식 히터를 사용합니다. 하지만 반도체 제조 환경에서는 이 방법이 문제를 일으킬 수 있습니다. 왜냐하면 열은 쉽게 퍼져나가기 때문입니다.
공기를 가열하면 모든 것이 뜨거워집니다. 기계의 내부 벽도 뜨거워져서, 기계의 외부 표면도 만지기에 위험해집니다. 게다가 이로 인해 클린룸의 전반적인 온도도 변하게 됩니다. 정말 혼란스러운 상황이죠.
더 나은 방법
우리는 단파 적외선 램프가 최선의 해결책이라는 것을 알아냈습니다. 마치 손전등처럼 생각하시면 됩니다. 적외선은 직선으로 전달되므로, 램프를 웨이퍼나 기판 쪽으로 비추기만 하면 에너지가 바로 그곳에 도달합니다. 주변의 공기와 기계의 벽은 그 특정 파장을 흡수하지 않기 때문에 상당히 차가운 상태를 유지할 수 있습니다.
올바른 설치 방법
작은 공간 안에 많은 에너지를 집중시켜야 합니다. 그래서 우리는 보통 석영-할로겐관을 사용합니다. 이 광원은 빠르게 높은 온도에 도달하기 때문에, 크고 무거운 가열 요소를 사용할 필요가 없습니다.
하지만 중요한 점은 램프와 작업물 사이의 거리를 정확하게 조절해야 한다는 것입니다. 램프가 너무 가까우면 과열이 발생하여 작업에 문제가 생깁니다. 반대로 너무 멀면 “레이저처럼 정확한 초점”을 맞출 수 없습니다. 우리는 보통 반사판을 사용하여 빔을 좁혀주어 에너지가 작업물에만 집중되도록 합니다.
단점
완벽한 것은 없습니다. 이러한 고밀도 램프는 많은 전류를 소비하며, 램프 자체도 매우 뜨거워집니다. 물론 기계의 외부는 시원하겠지만, 램프 자체는 엄청난 열을 받습니다. 따라서 냉각 팬이나 물망토가 제대로 작동하는지 확인해야 합니다. 냉각이 제대로 되지 않으면 램프가 예상보다 훨씬 빨리 고장 날 수 있습니다.
그리고 제발, 일반적인 PVC 배선은 사용하지 마세요. 그러면 배선이 녹아버릴 것입니다. PTFE나 섬유유리로 된 튜브를 사용하여 배선이 뜨거운 열로 인해 녹아버리는 것을 방지해야 합니다.