클래스 100급 청정실을 항상 깨끗하게 유지하는 방법
클래스 100급 환경에서 작업할 때 가장 원치 않는 것은 난방 시스템이 마치 코르셋처럼 작동하는 것입니다.
대부분의 일반적인 히터들은 문제가 많습니다. 열이 발생하면 표면이 벗겨지거나 VOC가 방출됩니다. 이러한 현상은 눈에 보이지 않지만, 실제로는 존재하며 모든 것을 망쳐버립니다. 우리는 고순도 석영 램프와 특수 제작된 스테인리스 스틸을 사용함으로써 이 문제를 해결했습니다.
왜 합성 석영을 사용하는가?
이것은 열을 발생시키는 데 있어 최고의 재료입니다. 일반적인 저가형 히터에 사용되는 유리와 달리, 합성 석영은 고온에서도 분해되거나 미세한 입자가 생성되지 않습니다. 그래서 웨이퍼에 먼지가 쌓이거나 기판 위에 이상한 입자가 생기는 일이 없습니다. 게다가 적외선 방식이기 때문에 에너지가 직접 목표물로 전달됩니다. 따라서 방 안에 강제로 공기를 순환시킬 필요가 없으며, 그렇게 하면 먼지가 한 곳에서 다른 곳으로 옮겨가는 것도 막을 수 있습니다.
제작 품질(대부분의 사람들이 실수하는 부분)
보통 히터의 외관 부분에서 문제가 생깁니다. 우리는 316L 스테인리스 스틸을 사용하여 히터를 제작하고, 거울처럼 반짝이도록 연마합니다. 왜냐하면 금속의 표면에 있는 구멍들은 먼지가 모이는 곳이 되기 때문입니다.
또한, 접착제나 저가형 가스켓의 사용도 금지됩니다. 모든 부분은 TIG 용접으로 연결되며, 산화되지 않도록 처리됩니다. 이렇게 하면 깨끗하고 반응하지 않는 환경을 만들 수 있습니다. 또한, 전기 연결 부분이 산화되어 불순물이 남지 않도록 특수한 커넥터를 사용합니다.
주의해야 할 몇 가지 사항
고순도 석영은 깨지기 쉬운 재료입니다. 큰 온도 변화에는 견딜 수 있지만, 만약 렌치로 부딪히면 바로 부서집니다. 그러므로 히터를 설계할 때는 금속과 석영이 접촉하지 않도록 해야 합니다. PTFE나 세라믹 절연체를 사용하여 램프가 “떠 있도록” 해야 합니다. 이것이 램프를 안전하게 보호하는 유일한 방법입니다.
또 한 가지, 적외선 난방은 매우 강력합니다. 매우 빠르게 열이 발생하기 때문에, 환기나 열 방출 시스템을 제대로 설정하지 않으면 케이스가 변형될 수 있습니다. 스위치를 켜기 전에 반드시 공기 흐름을 확인하세요.