카바이드 실리콘(SiC) 난로 램프

사진현상 과정에서의 포토레지스트 가열은 일종의 ‘열적 경주’와 같습니다. ±0.1°C라는 매우 엄격한 오차 범위를 유지해야 하는데, 그렇지 않으면 오차로 인해 웨이퍼가 폐기되게 됩니다. 램프의 성능이 부족하면 재작업, 폐기물 발생, 그리고 예기치 않은 가동 중단 등의...