오존이 없는 적외선 램프

공기를 가열하는 것을 그만두세요: 오존이 없는 적외선이 바로 해답입니다. 반도체 제조 과정에 참여해본 사람이라면, 뜨거운 공기를 이용한 가열 방식의 단점을 잘 알고 있을 것입니다. 이 방식은 너무 느립니다. 작은 웨이퍼 하나의 온도를 높이기 위해 온 방을 가열해야 합...