真空室红外加热器

别再让真空室变成“烤箱”了 凡是从事半导体生产的人都知道这个麻烦：虽然需要将晶圆加热，但又不希望把真空室变成一个烤箱。 普通的红外灯其实只是强度更高的灯泡而已——它们会将热量向各个方向散发。在真空中，这些热量无处可去，只能撞击设备的内壁。很快，设备的结构就会过热，操作人员也会因为被烫伤而受伤。 这...