在芯片制造过程中，光刻胶的处理过程是通过温度来控制的。在软烘或硬烘过程中，2°C的温度变化都可能影响关键尺寸的准确性，而加热器中的哪怕一颗微小颗粒都可能导致产品合格率下降。2700瓦特的透明石英红外线管正是为应对这种状况而设计的。 从技术层面来看，重要的是什么？ 该红外线管能够透过透明石英外壳释放...

在300mm产线上，光刻胶烘烤性能是叠层对准和关键尺寸（CD）均匀性的关键控制点。软烘或硬烘过程中晶圆表面温度漂移几摄氏度，就可能导致关键尺寸超出规格，造成数小时的工时报废。加热器必须快速达到设定点，稳定保持，无振荡，并且绝不向腔体内散发颗粒。 核心要点 我们采用中波石英加热管，实现快速的辐射加热...