避免碳纳米管加热器中的晶圆污染问题 如果你从事过碳纳米管的制造工作，那么你就知道那种糟糕的情况了。在高负荷生产过程中，压力很大，这时往往会出现一个问题：某个红外灯管突然损坏了。 这不仅仅是灯泡损坏而已，而是一场灾难。一旦发生这种情况，晶圆上就会布满石英碎片和卤素气体。一个小小的故障就会引发连锁反应...

如何保持100级洁净室的清洁状态 在维持100级洁净环境时，一点点的灰尘或化学残留物都可能毁掉整个生产批次的产品。问题在于，大多数加热元件本身就很容易产生杂质，或者会释放出一些在受热后会蒸发的物质。这显然是不可取的。为了解决这个问题，我们选择了两种材料：高纯度的合成石英和碳纤维灯丝。 为什么石英如...