
Hentikan pembaziran haba dalam sistem pengeringan wafer anda
Masalah dengan lampu inframerah biasa ialah ia memancarkan haba ke semua arah. Apabila bekerja di dalam bilik pengeringan semikonduktor, haba tersebut merupakan pembaziran tenaga. Tanpa Reflektor, sebahagian besar haba tersebut akan terbakar pada dinding peralatan, bukannya pada permukaan wafer. Ini menyebabkan masalah besar. Bahagian dalaman peralatan akan menjadi sangat panas sehingga boleh merosakkan komponen-komponen yang sepatutnya tetap stabil dari segi suhu.
Membawa haba ke tempat yang sepatutnya
Kita boleh menyelesaikan masalah ini dengan menggunakan reflektor yang tepat untuk mengarahkan sinaran inframerah ke titik yang diinginkan. Bayangkanlah ia seperti lampu suluh, bukannya mentol biasa. Dengan cara ini, lebih banyak haba akan sampai ke permukaan wafer, tanpa memanaskan bahagian lain peralatan. Dinding peralatan akan tetap sejuk, dan tenaga yang digunakan akan berfungsi dengan efektif.
Memilih bahan yang sesuai
Tergantung pada panjang gelombang lampu tersebut, biasanya kita menggunakan aluminium berkualiti tinggi atau kuarsa yang dilapisi emas. Emas merupakan bahan terbaik untuk gelombang inframerah panjang, namun harganya agak mahal. Untuk sistem gelombang pendek pula, aluminium merupakan pilihan yang sesuai. Ia boleh dipercayai dan mampu melaksanakan tugasnya dengan baik.
Namun, ada faktor penting yang perlu diperhatikan, iaitu jarak antara lampu dan wafer. Jika jaraknya terlalu dekat, akan timbul kawasan yang terlalu panas, yang boleh merosakkan wafer. Jika jaraknya terlalu jauh, sinaran inframerah akan tersebar, dan kuasa sinaran tersebut akan berkurangan.
Apa maknanya untuk operasi di kilang
Yang terbaik ialah anda boleh menggunakan lampu dengan kuasa yang lebih rendah, namun masih dapat mencapai suhu yang diinginkan. Kipas penyejuk juga tidak perlu bekerja keras, yang merupakan kelebihan bagi semua pihak. Namun, perlu berhati-hati kerana intensiti cahaya di titik fokus akan sangat tinggi. Anda perlu memastikan pengawal suhu berfungsi dengan tepat. Jika tidak, suhu wafer boleh melebihi had yang ditetapkan, lalu merosakkan wafer tersebut. Namun, jika semuanya dikendalikan dengan baik, peralatan akan tetap sejuk, dan proses pengeringan akan berjalan dengan lancar.