Memastikan Suhu Wafer yang Tepat
Ketika bekerja dalam persekitaran semikonduktor, “kebersihan” bukan sekadar keutamaan – ia merupakan syarat penting untuk mendapatkan hasil yang baik. Itulah sebabnya kami menggunakan lampu pemanas jenis UHP (Ultra High Purity).
Apa yang perlu dilakukan ialah memastikan setiap foton yang dipancarkan mengenai permukaan wafer tersebut. Menghabiskan tenaga untuk memanaskan dinding bilik pemanasan hanyalah pembaziran wang dan tenaga.
Mengapa kami memilih emas
Ada orang yang menggunakan reflektor aluminium biasa, tetapi bahan ini menyerap terlalu banyak tenaga. Kami pula menggunakan reflektor yang dilapisi emas.
Tujuannya bukanlah untuk membuat peralatan kelihatan mewah, tetapi kerana sifat fizik cahaya inframerah. Emas sangat efektif dalam memantulkan tenaga tersebut kembali ke permukaan wafer. Dengan cara ini, tenaga panas tidak akan tersebar ke bahagian lain, sebaliknya akan tertumpu pada wafer. Anda akan mendapat haba yang lebih banyak tanpa perlu meningkatkan kuasa pemanasan.
Cabaran yang perlu dihadapi
Untuk mendapatkan kepadatan haba yang diinginkan, lampu-lampu ini perlu beroperasi pada suhu yang sangat tinggi. Namun, hal ini membawa risiko tertentu. Semua tenaga tersebut akan menyebabkan suhu di kawasan tersebut menjadi sangat tinggi. Jika sistem penyejukan tidak dapat mengikuti peningkatan suhu tersebut, lampu tersebut boleh rosak. Ini merupakan masalah yang perlu dielakkan.
Kami meluangkan masa yang banyak untuk memastikan kualiti lapisan emas tersebut. Semakin tepat fokusnya, semakin tinggi pula gradien suhunya. Anda perlu berhati-hati semasa menggunakan pengawal PID – kesilapan sedikit saja boleh menyebabkan kawasan tertentu pada wafer menjadi terlalu panas.
Konfigurasi sebenar
Setelah lampu-lampu ini disambungkan ke sistem UHP, penyesuaian posisinya sangat penting. Jika terdapat kesilapan sebanyak beberapa milimeter sahaja, kecekapan pemanasan boleh menurun sebanyak 10% atau 15%. Kami merancang lampu-lampu ini dengan ukuran yang tepat agar mudah dipasang tanpa perlu mengubah susunan keseluruhan sistem pemanasan.
Satu perkara lagi: pastikan permukaan emas tersebut bersih sepenuhnya. Sedaikit debu atau oksidasi mungkin kelihatan tidak penting, tetapi ia boleh merosakkan fungsi pemanasan lampu tersebut dengan cepat.