Dalam proses litografi, suhu yang digunakan untuk proses pembakaran pada tahap 90°C boleh menyebabkan perubahan lebar garisan sebanyak 0.3°C sahaja. Keseimbangan suhu bukanlah sesuatu yang boleh diabaikan – ia merupakan syarat penting yang mesti dipenuhi.
Apa yang penting dari segi teknikalnya:
Kami telah mencipta pemegang mentol seramik ini untuk digunakan dalam pemanas yang digunakan dalam proses penghasilan bahan fotoresist. Dalam proses ini, kawalan suhu sangat penting, dan jumlah zarah di bilik bersih juga harus dikawal dengan ketat. Mentol halogen berfrekuensi tinggi diletakkan dalam badan seramik yang berkualiti tinggi, agar panas yang dihasilkan tetap stabil, sehingga keseimbangan suhu pada permukaan wafer dapat dikekalkan pada tahap ±0.1°C.
Antaramuka seramik ini dapat mengelakkan pelepasan gas, dan bentuk pemegang ini direka untuk mengurangkan kesan bayangan dan gradien suhu. Ini memastikan respons yang konsisten terhadap perubahan suhu, serta suhu yang stabil walaupun dalam operasi 24/7.
Mengapa ia sesuai digunakan di fasiliti pengeluaran:
Dalam stesen pembakaran biasa atau intensif, kawalan suhu perlu disesuaikan dengan sensitiviti bahan fotoresist dan kelajuan pengeluaran. Pemegang ini memastikan profil suhu tetap stabil, sehingga dimensi produk dapat dikawal dengan baik dari satu batch ke batch yang lain.
Ia juga sesuai digunakan di bilik bersih kelas 1–100, kerana permukaannya tidak menghasilkan zarah berbahaya. Ini memungkinkan penggunaan wafer yang lebih sedikit, mengurangkan kerja-kerja pembaikan, dan memudahkan perancangan waktu pengeluaran. Penggunaan tenaga juga tetap berada pada tahap yang munasabah, kerana adanya sambungan yang efisien dengan ruang proses. Inersia termal seramik pula membantu mengurangkan fluktuasi suhu ketika menukar resipi pengeluaran.
Butiran praktikal:
Pemasangan pemegang ini memerlukan penyesuaian yang tepat terhadap blok pemanas, dan pastikan mentol berada dalam kedudukan yang betul – jika tidak, akan timbul titik panas yang boleh merosakkan bahan fotoresist. Seramik ini kuat, tetapi mudah patah. Oleh itu, ia perlu ditangani menggunakan alat yang sesuai untuk bilik bersih, dan elakkan geseran mekanikal yang boleh merosakkannya.
Pastikan voltan dan sambungan kabel sesuai dengan model pemanas yang digunakan, dan pastikan kawalan suhu selaras dengan spesifikasi bahan fotoresist. Lakukan pemeriksaan kadar zarah setelah pemasangan, dan setiap 250 jam, untuk memastikan pemegang ini tidak menjadi sumber pencemaran.