Pemanas keping yang menjimatkan tenaga
Hentikan Lampu Inframerah daripada Merosakkan Wafer Anda Jika anda pernah mengalami kegagalan lampu inframerah semasa proses pengeluaran yang...
Reflektor untuk lampu pengeringan wafer
Hentikan pembaziran haba dalam sistem pengeringan wafer anda
Masalah dengan lampu inframerah biasa ialah ia memancarkan haba ke semua arah. Apabila...
Penderia suhu untuk alat pemprosesan wafer
Mendapatkan Data Termal yang Tepat dalam Fab Pintar Jika anda sedang membina fab pintar, perkara pertama yang perlu dilakukan ialah menggantikan...
Lampu pemanas untuk menghilangkan kelembapan pada wafer
Di bilik pengeluaran, kelembapan yang terdapat pada permukaan wafer boleh menyebabkan perubahan pada dimensi penting wafer setelah ia terdedah kepada...
Mentol pengering wafer berkecekapan tinggi
Pada lini 300mm, peralihan suhu sebanyak 0.3°C semasa proses pembakaran photoresist membezakan antara larian terkawal dan lot penuh yang dibuang....
Mentol pengganti lampu pengering wafer
Pada tingkat litografi, anda sudah tahu bagaimana keadaannya: lampu pengering wafer yang menyimpang walaupun 0.2°C boleh mengubah bias dimensi...