저온 시스템 지원 히터

웨이퍼 건조 및 포토레지스트 처리 과정에서 온도가 변동하면 그 영향이 바로 느껴집니다. 수율이 저하됩니다. 크라이오 스테이지가 설정된 온도에 도달하면, 서포트 히터가 웨이퍼 표면을 고정시켜야 합니다. 만약 약간의 위치 변화나 불균일성이 있으면, 선의 굵기에 변동이 생...