IR 에미터용 세라믹 엔드캡
더 나은 IR 방출체를 만드는 비결: 세라믹 엔드캡
반도체의 건조 및 경화 공정을 다루는 분들이라면, “친환경적이고 납이 없는” 기준이 점점 더 중요해지고 있다는 것을 알고 계실 것입니다. 이러한 흐름에 맞춰, 많은 사람들이 IR 방출체를 사용하고 있습니다.
기존의...
팹 히터용 세라믹 램프 홀더
리소그래피 공정에서는 90°C로 부드럽게 가열하는 과정에서 온도가 0.3°C만 변동해도 전체 웨이퍼의 선폭에 영향을 줄 수 있습니다. 온도의 균일성은 단순한 선호 사항이 아니라 반드시 충족되어야 하는 필수 조건입니다.
기술적으로 중요한 점들 우리는 포토레지스트 처리...
세라믹 히터 (PTC)
전압 변동은 적외선 난방의 조용한 살인자다. 어느 날 밤에는 열이 일정하지만, 다음 날에는 깜박이고 어두워지며 부품이 조기 고장난다. 불균일한 발광과 히터 수명 단축에서 그 변화를 느낄 수 있다. 이 PTC 세라믹 히터는 능동 회로 보상을 적용해 라인 전압이 불안정할...