半导体洁净室推车式加热器

为什么在晶圆加热器中使用镀金反射器 在处理半导体洁净室中的晶圆加热器时，我们真正关心的只有一件事：如何将热量有效地传递到晶圆上。我们可不想把精力或预算浪费在加热机器的金属外壳上。 这时，镀金技术就派上用场了。 镀金的优势 如果使用普通的铝制反射器，大量的能量会被浪费掉——这些能量要么被吸收，要么散...