为什么在晶圆加热器中使用镀金反射器
在处理半导体洁净室中的晶圆加热器时，我们真正关心的只有一件事：如何将热量有效地传递到晶圆上。我们可不想把精力或预算浪费在加热机器的金属外壳上。
这时，镀金技术就派上用场了。
镀金的优势
如果使用普通的铝制反射器，大量的能量会被浪费掉——这些能量要么被吸收，要么散失到空气中。这显然是一种浪费。
通过添加高纯度的金层，我们可以让其在红外光谱中的反射率超过98%。可以说，它就像一面“热能镜子”。这样一来，加热器就不会把热量散布到整个房间里，而是让光子直接反射回到晶圆上。
其结果就是：热量分布更加集中，达到目标温度的速度也更快。这非常高效，道理很简单。
热量的处理问题
不过，要使晶圆达到合适的温度，这些加热器必须在很小空间内产生大量热量。虽然这对晶圆来说很有好处，但对加热器的结构却造成了很大压力。如果不小心，这些热量可能会扩散到整个洁净室中，从而影响工艺参数。
因此，确保加热器的散热系统良好，或者有一个有效的散热结构非常重要。热量应该集中在晶圆所在的位置，而不是其他地方。
如何正确使用这些反射器
我们设计的这些反射器是可以直接替代现有产品的，因此无需重新组装整个加热器系统。
黄金的优点在于它的化学性质极为稳定。它不会生锈，也不会氧化，即便经过数百次加热循环后也不会脱落。这样，就不用再担心像抛光钢或铝那样效率逐渐下降的问题了。
最后一个小建议：务必检查电源是否稳定。如果电压不稳定，那么加热器的输出功率也会随之变化，从而导致晶圆表面出现不均匀的加热情况。保持PID控制系统的稳定性，就能避免这个问题。