高效晶圆干燥灯泡

在300mm生产线上，光刻胶烘烤过程中0.3℃的温度漂移意味着从受控运行到整批报废的差异。那个烘干灯泡不仅仅是另一个消耗品——它是定义工艺窗口的热锚点。 技术关键点 我们对晶圆烘干灯泡的规格要求是在整个烘烤工艺曲线中（从软烤到硬烤阶段），晶圆级热均匀性控制在±0.1℃以内。石英灯罩和灯丝几何结构经...