为什么我们放弃热风干燥，转而使用数字红外干燥技术？
如果你曾经使用过热风干燥技术，那么你一定知道其中的麻烦之处：先让空气变热，然后再等待这些热空气去加热工件。在半导体深度加工领域，这种“等待时间”简直就是致命的障碍——它会导致整个流程变得极为缓慢。
因此，我们选择了数字红外干燥控制器。与热风干燥不同，红外技术是通过辐射直接作用于工件表面，从而节省时间。
等待带来的隐性成本
对流式干燥方式实在太慢了。你需要花费数分钟的时间来等待炉腔达到稳定状态，这无疑是一种时间上的浪费。而红外灯则能在几秒钟内就达到目标温度。使用数字红外控制器时，只需控制灯的功率即可，这样就能避免温度过高。这样一来，每块晶圆或芯片的处理时间就能大大缩短。
如何解决热惯性问题
热风干燥的一个缺点是：一旦空气被加热后，其温度就会一直保持不变。如果工艺参数出现偏差，就无法立刻停止加热。而数字红外控制器则可以解决这个问题。它利用PID控制器和快速切换的继电器来精确控制功率。一旦传感器检测到温度异常，控制器会立即切断电源。这样一来，热量就会立刻消失。这是一种更加高效的加热方式。
当然，红外技术也有其局限性
虽然红外技术很有效，但由于其热量密度极高，如果反射器没有正确设置，就可能会出现局部过热的情况。此外，也不能直接把红外干燥装置安装在旧式的热风炉中，因为那样做无法保证其正常工作。你需要仔细规划热量分布，并确保冷却风扇能够有效处理产生的热量。
但对于那些从批量干燥转向在线红外干燥的工程师来说，这无疑是一种巨大的优势。因为你不再需要等待空气变热，而是可以以秒为单位来安排工艺流程。如果你想提高生产效率，这显然是最好的解决方案。