防止洁净室设备过热
大多数人只是使用对流式加热器来加温。但在半导体生产环境中，这种做法只会带来麻烦。为什么呢？因为热量容易四处扩散。当空气被加热后，所有物体都会变热。机器的内部墙壁也会变得非常烫，以至于人们根本无法触摸它们。此外，这还会扰乱整个洁净室的温度平衡，造成混乱状况。
更好的解决方案
我们发现，短波红外线灯才是最佳选择。可以把它想象成手电筒，而不是空间加热器。红外线是以直线方式传播的，因此只需将灯具对准晶圆或基板，能量就会直接作用于目标物上。而周围的空气和设备壁则不会被过度加热，因为它们不会像目标物那样吸收特定波长的能量。
正确设置的重要性
需要在一个狭小的空间内提供大量能量，因此我们通常选用石英卤素灯。这类灯能快速达到高温，从而无需使用体积庞大的加热元件。不过，需要注意的是，灯具与目标物之间的距离必须恰到好处。如果距离太近，就会出现局部过热的情况，从而破坏工作成果；如果距离太远，则会失去“激光聚焦”的优势。我们通常会使用反射器来集中光线，确保能量只作用于工件上，而不扩散到设备的其他部分。
注意事项
没有什么是完美的。这类高密度灯具会消耗大量电流，且其本身也会变得非常热。虽然外部设备箱保持低温，但灯具的壳体却会承受巨大的热量。因此，必须确保冷却风扇或水冷系统能够正常工作。如果冷却系统出现问题，灯具就会比预期更快地损坏。另外，千万不要使用普通的PVC电线，因为它会在高温下熔化。应使用PTFE或玻璃纤维材质的绝缘层，这样才能避免电线在高温下融化。