หยุดไม่ให้หลอดอินฟราเรดทำลายวาเฟอร์ของคุณได้
หากคุณเคยประสบปัญหาหลอดอินฟราเรดแตกขณะที่กำลังผลิตอยู่ คุณก็คงรู้ดีว่ามันเป็นเรื่องที่น่ากังวลมาก มันไม่ใช่แค่เรื่องของเวลาที่ต้องหยุดการผลิตเท่านั้น
เมื่อหลอดควอตซ์แตก มันจะกลายเป็นเหมือนระเบิดแก้ว ทำให้เกิดเศษแก้วและชิ้นส่วนโลหะกระจัดกระจายไปทั่ว ซึ่งจะทำให้วาเฟอร์มีความสกปรก และวาเฟอร์เหล่านั้นก็จะต้องถูกทิ้งไป มันเป็นเรื่องที่น่าปวดหัวจริงๆ
เราออกแบบเครื่องทำความร้อนสำหรับวาเฟอร์มาเพื่อป้องกันไม่ให้เกิดเหตุการณ์แบบนี้ขึ้น
การรับมือกับความเครียดทางความร้อน
ส่วนใหญ่แล้ว หลอดอินฟราเรดจะแตกเนื่องจากความแปรปรวนของกระแสไฟฟ้าหรือการขยายตัวของความร้อนที่ไม่สม่ำเสมอ เพื่อแก้ไขปัญหานี้ เราจึงใช้ควอตซ์สังเคราะห์ที่มีความบริสุทธิ์สูง ซึ่งมีความทนทานสูง สามารถรับมือกับความเครียดจากการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิได้โดยไม่แตก
นอกจากนี้ เรายังให้ความสำคัญกับการปรับตำแหน่งของไส้หลอดอินฟราเรดอย่างมาก หากมีความคลาดเคลื่อนเพียงเล็กน้อย ก็จะเกิดจุดร้อนขึ้น ซึ่งเป็นสาเหตุให้วาเฟอร์เสียหายได้
อีกอย่างหนึ่งคือ ควรตรวจสอบแหล่งจ่ายไฟอย่างใกล้ชิด หากแรงดันไฟฟ้ามีความผันผวน ไส้หลอดอินฟราเรดก็จะไหม้เร็วกว่าที่ควรจะเป็น เรามักแนะนำให้ใช้ตัวควบคุม PID ที่มีความแม่นยำ เพื่อให้อุณหภูมิอยู่ในระดับที่เหมาะสม
การป้องกันไม่ให้เศษแก้วเข้ามาใกล้วาเฟอร์
เพื่อให้มั่นใจว่าเศษแก้วจะไม่เข้ามาใกล้วาเฟอร์ เราจึงใช้การป้องกันแบบสองชั้น
เรามักจะใส่หลอดอินฟราเรดไว้ในซองควอตซ์ที่มีความแข็งแรง หรือใช้ฝาปิดเพื่อป้องกันเศษแก้ว มันเหมือนเป็นตาข่ายป้องกัน หากหลอดแตก ฝาปิดก็จะช่วยกันเศษแก้วไม่ให้กระจัดกระจายไปทั่ว
นอกจากนี้ เรายังใช้ฝาปิดที่มีคุณภาพสูง เพื่อป้องกันไม่ให้ก๊าซฮาโลเจนรั่วออกมา ซึ่งจะช่วยให้สภาพเคมีภายในหลอดอินฟราเรดคงที่ และทำให้หลอดมีอายุการใช้งานนานขึ้น
อีกอย่างหนึ่งคือ เราไม่ใช้กาวราคาถูก เพราะที่อุณหภูมิสูง กาวเหล่านั้นจะปล่อยก๊าซออกมา ทำให้เกิดคราบหมองบนวาเฟอร์ ซึ่งจะทำลายการเกิดสารบางชนิดบนวาเฟอร์ได้ ซึ่งไม่ใช่เรื่องดีเลย
ข้อเสียของการใช้หลอดอินฟราเรด
ข้อเสียก็คือ หลอดอินฟราเรดที่มีความหนาแน่นสูงนั้นเหมาะสำหรับการเพิ่มอุณหภูมิอย่างรวดเร็ว แต่มันก็จะปล่อยความร้อนออกมามากเช่นกัน
คุณจึงต้องจัดการกับพัดลมระบายความร้อนให้ดี หากตัวเครื่องร้อนเกินไป ส่วนที่ยึดหลอดอินฟราเรดก็อาจบิดเบี้ยวได้ และเมื่อเกิดเหตุการณ์นี้ขึ้น จุดที่มีความร้อนก็จะไม่สม่ำเสมอ ทำให้วาเฟอร์ได้รับความร้อนที่ไม่สม่ำเสมอ
สรุปแล้ว มันขึ้นอยู่กับการหาจุดสมดุลระหว่างความร้อนที่เกิดขึ้นกับความเสียหายที่อาจเกิดขึ้นกับวาเฟอร์