
การควบคุมอุณหภูมิของแผ่นซิลิคอนให้เหมาะสม
เมื่อทำงานในสภาพแวดล้อมของชิปเซมิคอนดักเตอร์ “ความสะอาด” ไม่ใช่เพียงแค่สิ่งที่ควรมีเท่านั้น แต่เป็นสิ่งสำคัญที่สุดเลยทีเดียว นั่นคือเหตุผลที่เราใช้หลอดไฟที่มีความบริสุทธิ์สูงมาก (UHP)
เมื่อคุณทำการให้ความร้อนแก่แผ่นซิลิคอน คุณต้องการให้โฟตอนทุกตัวกระทบกับพื้นผิวของแผ่นซิลิคอนโดยตรง การใช้พลังงานไปกับการให้ความร้อนกับผนังของเครื่องก็เท่ากับการเสียเงินและพลังงานไปโดยเปล่าประโยชน์
เหตุใดเราถึงเลือกใช้ทองคำ
คุณอาจเห็นบางคนใช้กระจกสะท้อนแบบอลูมิเนียม แต่กระจกเหล่านั้นจะดูดซับพลังงานไปมากเกินไป เราจึงเลือกใช้กระจกสะท้อนที่เคลือบด้วยทองคำแทน
ไม่ใช่เพื่อให้อุปกรณ์ดูหรูหราหรอกนะ แต่เป็นเพราะหลักการทางฟิสิกส์ของแสงอินฟราเรด ทองคำมีความสามารถในการสะท้อนพลังงานกลับมายังจุดที่ต้องการได้อย่างยอดเยี่ยม พลังงานจะไม่กระจายไปยังส่วนอื่นของเครื่อง คุณจึงได้รับความร้อนมากขึ้นโดยไม่ต้องเพิ่มกำลังไฟมากขึ้น
ส่วนที่ยาก
เพื่อให้ได้อุณหภูมิที่ต้องการ หลอดไฟเหล่านี้จำเป็นต้องมีอุณหภูมิสูงมาก แต่นั่นก็มีข้อเสียเช่นกัน พลังงานมากมายนั้นจะก่อให้เกิดความร้อนสูงในบริเวณนั้น หากระบบระบายความร้อนไม่สามารถรับมือกับอุณหภูมิที่สูงขึ้นได้ ก็อาจทำให้หลอดไฟเสียหายได้ นั่นเป็นปัญหาที่คุณไม่อยากเจอเลย
เราให้ความสำคัญกับคุณสมบัติการแผ่รังสีของควอตซ์และชั้นทองคำมาก ยิ่งการโฟกัสแสงแม่นยำเท่าไร อุณหภูมิก็จะยิ่งสูงขึ้นเท่านั้น คุณจึงต้องระมัดระวังในการตั้งค่า PID ให้มาก หากทำผิดพลาดเพียงเล็กน้อย ก็อาจทำให้เกิดจุดร้อนบนแผ่นซิลิคอนได้
การติดตั้งในโลกแห่งความเป็นจริง
เมื่อคุณเริ่มติดตั้งหลอดไฟเหล่านี้เข้ากับระบบ UHP การปรับตำแหน่งจึงมีความสำคัญมาก หากมีความคลาดเคลื่อนเพียงไม่กี่มิลลิเมตร ประสิทธิภาพในการให้ความร้อนก็อาจลดลงถึง 10% หรือ 15% เราออกแบบอุปกรณ์เหล่านี้ให้มีขนาดที่แม่นยำ เพื่อให้คุณสามารถติดตั้งได้โดยไม่ต้องปรับแต่งอุปกรณ์อื่นๆ
สุดท้ายนี้ จงรักษาพื้นผิวทองคำให้สะอาดอยู่เสมอ แม้ว่าจะมีฝุ่นหรือสิ่งสกปรกเล็กน้อย แต่ก็อาจทำให้ประสิทธิภาพในการแผ่รังสีลดลงได้