Dalam proses pembakaran bahan fotoresist ini, ia memerlukan kawalan suhu yang tepat. Kita perlu mengekalkan suhu pada tahap ±0.1°C, kerana sebarang perubahan suhu yang ketara akan merosakkan bahan tersebut dan menjadikannya tidak boleh digunakan lagi. Jika lampu yang digunakan tidak berfungsi dengan baik, ia akan menyebabkan kos tambahan seperti kerja pembaikan, pembaziran bahan, serta masa henti operasi yang tidak dijangka. Oleh itu, kita mencipta lampu jenis SiC agar dapat beroperasi secara berterusan tanpa masalah.
Komponen utama lampu ini ialah pengeluar cahaya inframerah gelombang pendek – silikon karbida yang terletak di dalam selubung kuartza. Ia direka untuk memberikan respons yang cepat dan stabil. Kita ingin memastikan suhu di kawasan pembakaran kekal pada tahap ±0.1°C, manakala variasi suhu antara setiap kumpulan bahan pula harus berada dalam lingkungan ±0.5°C. Keluaran haba boleh diselaraskan untuk proses pembakaran yang berbeza, dengan kawalan yang tepat untuk memastikan penggunaan tenaga yang efisien.
Lampu ini sesuai digunakan dalam persekitaran bilik bersih, dan direka untuk digunakan dalam lingkungan kelas 1–100, tanpa menghasilkan sebarang zarah yang boleh mencemari bahan fotoresist. Tidak ada pelepasan gas yang boleh merosakkan bahan tersebut. Kami telah melihat bahawa lampu ini boleh beroperasi selama lebih dari 5,000 jam dengan penurunan keluaran kurang dari 5%. Ia juga direka untuk beroperasi 24/7.
Dalam proses litografi, lampu ini boleh menggantikan sistem halogen atau sistem gelombang sederhana yang digunakan sebelum ini. Dengan menggunakan lampu ini, proses penyederhanaan suhu menjadi lebih cepat, dan penggunaan tenaga untuk setiap keping wafer juga berkurangan. Lampu ini boleh dipasang dalam peralatan pembakaran standard, dan ia menyokong antaramuka peralatan semikonduktor antarabangsa. Ia juga memberikan profil haba yang tepat, sehingga memudahkan proses pensijilan.
Proses pemasangan lampu ini sangat mudah – hanya perlu memastikan alinhemen peralatan dan aliran udara penyejuk yang betul. Jika reflektor tidak sesuai atau sistem penyejukan tidak mencukupi, ia akan mengganggu prestasi lampu. Pastikan geometri ruang pembakaran dan bekalan kuasa betul sebelum menyalakan lampu. Setelah disesuaikan dengan baik, lampu ini akan berfungsi sebagai sumber haba yang tepat, tepat di tempat yang diperlukan.