Energieeffizienter Waferheizer
Verhindern Sie, dass Ihre Infrarotlampen Ihre Wafer zerstören
Wenn bereits einmal eine Infrarotlampe während eines intensiven Produktionsprozesses...
Reflektor für Wafer Aushärtungslampe
Hören Sie auf, Energie bei der Aushärtung der Wafers zu verschwenden
Das Problem mit herkömmlichen Infrarotlampen ist, dass sie Wärme in alle...
Temperatursensor für Wafer Werkzeuge
Wie man die thermischen Daten in einer Smart Factory richtig erfasst
Wenn Sie eine Smart Factory aufbauen, ist das Erste, was Sie tun müssen: Auf...
Heizlampe zur Entfeuchtung von Wafern
Auf der Fertigungsfläche kann die Feuchtigkeit auf der Oberfläche des Wafers dazu führen, dass die wichtigen Abmessungen des Wafers nach der...
Hocheffiziente Wafer Trocknerbirne
Auf der 300mm-Linie ist eine Drift von 0,3 °C während des Photoresist-Bake der Unterschied zwischen einem kontrollierten Lauf und einer vollständigen...
Ersatzlampe für Wafer Trockner
Auf dem Lithographie-Floor wissen Sie, wie es läuft: Ein Wafer-Trockner-Lampe, die auch nur um 0,2°C driftet, kann den kritischen Dimensionsversatz...