Hören Sie auf, Energie bei der Aushärtung der Wafers zu verschwenden
Das Problem mit herkömmlichen Infrarotlampen ist, dass sie Wärme in alle Richtungen abgeben. Wenn man in einer Halbleiter-Aushärtungskammer arbeitet, handelt es sich dabei um verschwendete Energie. Ohne Reflektor gelangt ein großer Teil dieser Wärme auf die Wände der Anlage – anstatt auf die Wafer. Das ist wirklich ineffizient. Die Innenseiten der Anlage werden so heiß, dass sie die Bediener verletzen oder die Teile beschädigen können, die genau sein müssen.
Die Wärme dorthin lenken, wo sie hingehört
Wir lösen dieses Problem, indem wir Präzisionsreflektoren verwenden, um das Infrarotstrahlung in einen gezielten Strahl zu lenken. Stellen Sie sich das wie eine Taschenlampe vor – anstelle einer gewöhnlichen Glühbirne. Durch die Reflexion der Energie zurück zum Ziel erhält die Waferoberfläche mehr Wärme, ohne dass der Rest der Anlage überhitzt. Die Wände bleiben kühl, und die Energie erfüllt somit ihre Funktion.
Auswahl der Materialien
Je nach Wellenlänge der Lampe wird in der Regel hochreines Aluminium oder Quarz mit Goldbeschichtung verwendet. Gold ist der „Goldstandard“ für langwelliges Infrarot – doch das ist natürlich teuer. Für die meisten Kurzwellenanwendungen eignet sich Aluminium besser. Es ist zuverlässig und erfüllt seine Aufgabe.
Der schwierige Punkt: Der Fokuspunkt
Es ist wichtig, die Entfernung zwischen der Lampe und der Wafer genau richtig einzustellen. Zu nah? Dann entstehen Hotspots, die die Qualität der Wafer beeinträchtigen. Zu weit entfernt? Dann breitet sich der Strahl aus, und die Richtungskraft geht verloren.
Was das für die Produktion bedeutet
Das Beste daran: Sie können Ihre Lampen mit geringerer Leistung betreiben und trotzdem die gewünschten Temperaturen erreichen. Die Kühlfans müssen nicht so intensiv arbeiten – was für alle Vorteile bringt. Allerdings muss man darauf achten, dass die Intensität am Fokuspunkt sehr hoch ist. Man sollte daher besonders sorgfältig mit den Temperaturreglern umgehen. Wenn man nicht präzise vorgeht, kann man die Wafer beschädigen. Doch wenn alles richtig eingestellt ist, bleiben die Wände kühl und der Prozess wird reibungslos ablaufen.