Wie man die thermischen Daten in einer Smart Factory richtig erfasst
Wenn Sie eine Smart Factory aufbauen, ist das Erste, was Sie tun müssen: Auf Kontakt Sensoren verzichten. Im Ernst. In Hochleistungsanlagen für die Bearbeitung von Wafern kann man mit solchen Verzögerungen einfach nicht umgehen. Zudem führt das Einführen physischer Proben dazu, dass die Wafer kontaminiert werden können. Deshalb setzen wir auf Infrarot-Sensoren. Diese ermöglichen es Ihnen, in Echtzeit thermische Daten zu erfassen – ohne die Wafer berühren zu müssen. Die Daten fließen direkt in Ihr PLC oder SCADA-System. Es funktioniert einfach.
Warum wir Infrarot-Sensoren verwenden
Bei der Bearbeitung von Wafern ist Gleichmäßigkeit entscheidend. Wenn es auf der 300-mm-Oberfläche einige Grad Unterschiede gibt, ist die ganze Charge ruiniert. Infrarot-Sensoren erfassen die vom Material ausgesandte Strahlung und wandeln sie sofort in Temperaturwerte um. Das Beste daran: Es gibt keine „thermische Masse“, die aufgewärmt werden muss. Im Gegensatz zu Thermoelementen, die lange brauchen, um zu reagieren, liefern Infrarot-Sensoren die aktuelle Oberflächentemperatur sofort. Es geht also sehr schnell – und das bedeutet, dass Ihr Steuerungszyklus Temperaturspitzen rechtzeitig erkennen kann, bevor es zu Problemen kommt.
Die Daten wirklich nützlich machen
Ein Sensor ist zwar großartig, aber das ist erst der Anfang. Für eine wirklich intelligente Anlage müssen die Daten weiterverarbeitet werden. Wir konfigurieren diese Systeme so, dass sie digitale Signale liefern, die perfekt in Ihren Industry 4.0-Ablauf integriert werden können. So erhalten Sie eine kontinuierliche Übersicht über das thermische Profil jeder einzelnen Wafer. Das ist ein großer Vorteil für die Wartung – Sie können erkennen, wann die Heizelemente anfangen, versagt zu haben, und diese rechtzeitig austauschen, bevor sie völlig kaputtgehen.
Die schwierigen Aspekte (denn nichts ist perfekt)
Infrarot-Sensoren sind zwar eine hervorragende Lösung – aber man muss vorsichtig sein. Die Empfindlichkeit der Sensoren hängt von der Reflexionsrate der Oberfläche ab. Wenn sich diese während eines Bearbeitungsschritts ändert, werden die Messwerte ungenau. Man muss den Sensor daher für das jeweilige Material kalibrieren – sonst erhält man falsche Daten. Außerdem spielt die Sichtlinie eine Rolle: Wenn sich Ablagerungen auf der Linse bilden, wird das Signal blockiert. Die Lösung ist einfach: Stellen Sie sicher, dass die Reinigungsgase ordnungsgemäß arbeiten und die Linse sauber bleibt. Dann funktioniert alles einwandfrei.