Verhindern Sie, dass Ihre Infrarotlampen Ihre Wafer zerstören
Wenn bereits einmal eine Infrarotlampe während eines intensiven Produktionsprozesses explodiert ist, wissen Sie, wie schlimm das ist. Es geht nicht nur um die Stillstandszeiten. Wenn ein Quarztubus zerbricht, verwandelt er sich im Grunde in eine Glassprengbombe. Dadurch entstehen überall Glassplitter und Metallscherben – was dazu führt, dass Ihre teuren Wafer kontaminiert werden und der gesamte Produktionsbatch als Schrott weggeschmissen werden muss. Das ist wirklich ein Albtraum.
Wir entwickeln unsere Waferheizer speziell dafür, dass so etwas nicht passiert.
Umgehen mit thermischem Stress
Meistens explodieren die Lampen aufgrund von elektrischen Spannungsspitzen oder ungleichmäßiger Wärmeausdehnung. Um dem entgegenzuwirken, verwenden wir hochreinen synthetischen Quarz. Dieser ist besonders widerstandsfähig – er kann die Belastungen durch plötzliche Temperaturschwankungen aushalten, ohne zu zerbrechen.
Auch die Ausrichtung des Glühfadens ist wichtig. Wenn dieser auch nur minimal verschoben ist, entstehen „heiße Stellen“. Das ist fatal für die Qualität der Wafer.
Noch ein Punkt: Achten Sie gut auf Ihre Stromversorgung. Wenn die Spannung stark schwankt, brennt der Glühfaden viel früher aus, als eigentlich nötig wäre. Wir empfehlen daher, diese Heizer mit präzisen PID-Steuerungen zu kombinieren. Dadurch bleibt die Temperatur konstant und Sie überschreiten nicht die gewünschte Temperatur.
Vermeiden Sie Schäden durch Glassplitter
Um sicherzustellen, dass Glassplitter niemals in die Nähe der Wafer gelangen, verwenden wir eine doppelte Schutzschicht. Die Lampen werden in eine verstärkte Quarzhülle oder einen Schutzschirm gelegt. Das ist wie ein Sicherheitsnetz – falls der Tubus doch einmal explodiert, fängt der Schutzschirm die Splitter auf, bevor es zu einem Desaster kommt.
Außerdem achten wir darauf, dass die Dichtungen hochwertig sind. Wir verwenden spezielle Endkappen, damit kein Halogengas entweichen kann. Dadurch bleibt die Chemie innerhalb der Lampe stabil und sie hält länger.
Außerdem verwenden wir keine billigen Klebstoffe. Bei hohen Temperaturen geben diese Substanzen Gase ab, was zu trüben Rückständen auf den Wafern führt – das stört die Herstellung von Schichtstrukturen. Das sieht nicht gut aus.
Die Kompromisse
Der Haken dabei ist: Hochdichte Infrarotheizer eignen sich zwar für schnelle Temperaturänderungen, doch sie erzeugen viel Wärme. Man muss also die Kühlfans sowie die Kühlkörper richtig einstellen. Wenn das Gehäuse zu heiß wird, können die Befestigungen verformen. Dadurch verschiebt sich der Brennpunkt – und plötzlich gibt es uneinheitliche Temperaturen auf den Wafer.
Es geht also um das richtige Gleichgewicht.