Hören Sie auf, die Vakuumkammer als Ofen zu nutzen!
Jeder, der in einer Halbleiterfabrik gearbeitet hat, kennt dieses Problem: Man muss das Wafer auf Temperatur bringen – doch man möchte die Vakuumkammer nicht in einen Ofen verwandeln.
Herkömmliche Infrarotlampen sind im Grunde genommen einfach nur Leuchtmittel mit erhöhter Leistungskraft – sie strahlen Wärme in alle Richtungen ab. Im Vakuum hat diese Energie keinen Ausweg mehr. Sie prallt einfach gegen die Innenwände der Anlage. Schon bald overhitzt das Gerät, und die Mitarbeiter müssen sich vor Verbrennungen schützen.
Das ist eine Katastrophe. Doch es gibt eine bessere Lösung.
Konzentrieren Sie die Wärme – statt sie einfach überall hinstrahlen zu lassen.
Wir nutzen dabei direktionale Infrarottechnologie. Anstatt dass die Wärme überallhin strahlt, nutzen wir spezielle Reflektoren und Emittoren, um die Energie genau dorthin zu leiten, wo sie benötigt wird – zum Wafer.
Es ist ein riesiger Unterschied. Der Wafer erhält die notwendige Wärmestärke, während die Umgebungsteile des Geräts weiterhin kühl bleiben. Man kann das Gerät sogar berühren, ohne Angst vor Verbrennungen haben zu müssen.
Das Problem im Vakuum ist ernst.
Die Physik ändert sich, wenn man die Luft aus dem Raum entfernt. Dadurch geht die konvektive Kühlung verloren – die Lampen können nicht mehr „atmen“. Sie müssen vollständig auf Strahlung sowie auf spezielle Reflektoren angewiesen sein, um ihre Wärme abzugeben.
Wenn man einfach eine Hochleistungs-Halogenlampe ohne geeigneten Wärmeableiter oder Reflektor verwendet, dann wird diese Lampe schnell versagen. Wir verwenden Quarzkapseln, um den thermischen Stress abzufangen – aber achten Sie auch auf die Stromversorgung. Diese Lampen neigen dazu, bei einem kalten Start einen starken Stromanstieg zu verursachen.
Schnellere Zykle, weniger Stress.
Die Reduzierung der „verschwenden Wärme“ betrifft nicht nur die Sicherheit – sondern auch die Geschwindigkeit. Wenn die Wände der Vakuumkammer keine Wärme absorbieren, dann funktionieren sie nicht mehr wie riesige Radiatoren. Das bedeutet, dass man nicht mehr warten muss, bis das Metallteil abgekühlt ist. Die Zykluszeiten verkürzen sich, und die Produktivität steigt.
Ein Hinweis zur Einrichtung: Verwenden Sie Hochtemperaturleitungen und achten Sie penibel auf die Ausrichtung der Reflektoren. Wenn der Reflektor auch nur um zwei Grad falsch ausgerichtet ist, wandert der heiße Punkt vom Wafer auf die Wand. Und dann ist man wieder am Anfang.