In der Fabrik wird die Bearbeitung des Fotolacks in Grad angegeben – ganz einfach. Eine Schwankung von 2°C während des Weich- oder Hartbrennvorgangs kann dazu führen, dass die kritischen Abmessungen verändert werden. Schon ein einziger Staubkorn aus dem Heizelement kann dazu führen, dass die Qualität der Produkte beeinträchtigt wird. Der Clear Quartz Infrared Tube 2700W wurde genau für diese Anforderungen entwickelt.
Was technisch wichtig ist:
Über eine durchsichtige Quarzkapsel werden 2700 W Infrarotstrahlung abgegeben. Dadurch erfolgt eine direkte Strahlungswärme mit geringer thermischer Masse. Die Aufheizzeit ist kurz, und die Temperaturkontrolle auf der Waferoberfläche ist präzise. In der Praxis bedeutet das wiederholbare Brennvorgänge für den Fotolack sowie konstante Leistungswerte von Charge zu Charge. Die Geometrie des Tubus sorgt für eine gleichmäßige Beleuchtung. Zudem wurden Materialien gewählt, die eine geringe Gasemission ermöglichen – was bei der Arbeit in einer Reinraumumgebung wichtig ist.
Warum es bei uns funktioniert:
In der Lithografie und bei der Bearbeitung von Fotolacken hat die Temperaturgleichmäßigkeit direkten Einfluss auf die Kontrolle der Linienbreite sowie auf die Fehlerquote. Mit diesem Tubus werden konstante Brennbedingungen auf der gesamten Waferoberfläche erreicht. Dadurch werden unnötige Nachbearbeitungen vermieden. Die reinraumkompatible Konstruktion verhindert das Auftreten von Staubpartikeln auf der Waferoberfläche. Die schnelle Reaktionszeit reduziert außerdem die Stillstandszeiten zwischen den Brennvorgängen. Das Ergebnis sind vorhersehbare Prozesszeiten, weniger Ausschuss und weniger unplanmäßige Stopps.
Was Sie wissen sollten:
Die Installation besteht darin, die Geometrie des Tubus sowie des Reflektors an Ihren Ofen oder Ihre Heizplatte anzupassen. Wenn die Abstände nicht stimmen, entstehen heiße Punkte auf der Waferoberfläche. Überprüfen Sie außerdem die Spannung und die Kompatibilität der Anschlüsse. Planen Sie außerdem eine wirksame Isolierung ein, damit benachbarte Komponenten nicht beeinflusst werden. Behandeln Sie den Quarz als Verbrauchsmaterial – halten Sie ihn sauber und planen Sie regelmäßige Erneuerungen, damit es keine Überraschungen mitten in einem großen Produktionsprozess gibt.