Warum wir goldbeschichtete Reflektoren in Heizgeräten für Halbleiterfertigung verwenden
Bei Heizgeräten für Halbleiterfertigung geht es eigentlich nur um eines: Die Wärme an das Wafer zu übertragen. Man möchte schließlich keine Energie – oder einen Teil des Budgets – damit verschwenden, das Metallgehäuse der Maschine zu erwärmen.
Daher kommt das Gold ins Spiel.
Die Vorteile der Goldbeschichtung
Wenn man Standard-Aluminiumreflektoren verwendet, geht eine Menge Energie verloren – sie wird entweder absorbiert oder in die Luft gestreut. Das ist verschwenderisch.
Durch die Verwendung einer hochreinen Goldschicht kann die Reflektionsrate im Infrarotbereich auf über 98 % erhöht werden. Man kann sich das wie einen Spiegel vorstellen, der die Wärme zurück auf das Wafer lenkt. Dadurch wird die Wärmezufuhr gezielter gesteuert – und die gewünschten Temperaturen werden viel schneller erreicht. Es ist einfach und effizient.
Probleme mit der Hitze
Das Problem ist: Um das Wafer auf die richtige Temperatur zu bringen, müssen diese Heizgeräte eine große Leistung in einem kleinen Raum unterbringen. Das funktioniert zwar gut für das Wafer, doch es belastet das Gehäuse stark. Wenn man nicht vorsichtig ist, kann die Hitze in den Rest des Reinraums gelangen – dadurch werden die erforderlichen Bedingungen nicht mehr eingehalten.
Stellen Sie sicher, dass das Gehäuse richtig belüftet ist oder über einen effektiven Kühlkörper verfügt. Die Hitze soll dort bleiben, wo das Wafer ist – nicht sonstwo.
Einsetzen und Aufrechterhalten der Funktion
Wir haben diese Reflektoren so konstruiert, dass sie als Ersatz verwendet werden können – ohne dass man das gesamte System erneuern muss.
Einer der Vorteile von Gold ist, dass es chemisch inert ist. Es rostet nicht, oxidiert nicht und blättert auch nach einigen hundert Betriebszyklen nicht ab. Man muss sich also nicht mit dem Problem beschäftigen, dass die Effizienz mit der Zeit abnimmt – wie es bei poliertem Stahl oder Aluminium der Fall ist.
Ein kleiner Tipp zur Einrichtung: Überprüfen Sie unbedingt Ihre Stromversorgung. Wenn die Spannung schwankt, ändert sich auch die Wärmeabgabe. Das führt zu ungleichmäßigen Temperaturen auf dem Wafer – und das möchte niemand. Halten Sie die PID-Schleifen in Schach, dann sind Sie auf der sicheren Seite.