
Hören Sie auf, Energie zu verschwenden!
Wenn Sie bei der Herstellung von Halbleitern eine Wafer erhitzen, kämpfen Sie im Grunde gegen die Gesetze der Physik. Der größte Teil der Energie, die von der Lampe abgegeben wird, geht einfach verloren – sie strebt in alle Richtungen ab. Ein großer Teil der teuren Energie wird somit dazu verwendet, den Gehäusekörper zu erhitzen, anstatt den Siliziumkern.
Das ist Verschwendung – und zudem frustrierend.
Warum wir Gold verwenden
Wir verwenden Goldbeschichtungen auf den Reflektoren aus einem einfachen Grund: Gold reflektiert Infrarotlicht am besten. Klar, Aluminium ist günstiger – doch es oxidiert, wird stumpf und verliert seine Leistungsfähigkeit. Gold hingegen bleibt geschärft und leitet fast das gesamte Langwellenstrahlung zurück dorthin, wo es hinsoll – nämlich auf die Wafer.
Aber es geht hier nicht nur um die Stromrechnung. Es geht auch um die Kontrolle über die Heizenergie. Durch die richtige Anpassung der Krümmung des Goldreflektors können wir die Energie gezielt lenken. Dadurch erreichen wir die gewünschten Temperaturen schneller. Zudem entsteht ein gleichmäßiges Temperaturprofil über dem Siliziumkern – genau dort geschieht die eigentliche „Magie“.
Der Kompromiss
Wenn man die Reflexionsfähigkeit erhöht, hat man mehr Möglichkeiten. Man kann die Leistung reduzieren, um Energie zu sparen, während man die gleiche Temperatur beibehält. Oder man kann die Leistung hochhalten und dadurch die Zeit bis zur Erreichung der gewünschten Temperaturen stark verkürzen.
Aber Achtung: Wenn man so viel Energie in einen kleinen Bereich leitet, werden die Temperaturen schnell sehr hoch. Wenn das Kühlsystem dafür nicht ausgelegt ist, können die umliegenden Elektronikkomponenten beschädigt werden oder die Sensoren beginnen, falsche Werte anzuzeigen.
Einfache Installation
Wir haben diese Geräte so konstruiert, dass sie leicht einzusetzen sind. Im Grunde handelt es sich dabei um Ersatzteile für Ihre aktuellen Heizelemente. Sie müssen sie einfach mit der vorhandenen Stromversorgung verbinden – und schon können Sie loslegen.
Sie werden sofort den Unterschied bemerken: Die Wafer erreichen die gewünschten Temperaturen in einer viel kürzeren Zeit. Nur eine Warnung: Überprüfen Sie Ihre Thermoelemente. Da die Wärmeübertragung viel intensiver ist, könnten die PID-Schleifen überreagieren, wenn sie nicht auf diese Geschwindigkeit abgestimmt sind.