Hören Sie auf, Ihre teuren Geräte in „Öfen“ zu verwandeln!
Ist Ihnen schon aufgefallen, dass die herkömmliche Konvektionsheizung dazu führt, dass der gesamte Gerätekasten zu einer Art „riesigem Toaster“ wird? Das liegt daran, dass die Luft erhitzt wird. Wenn die Luft erhitzt wird, werden auch alle anderen Oberflächen mitgeheizt – einschließlich der Innenwände des Gerätekastens. Das ist chaotisch: Ihre teuren Geräte überhitzen, und die Bediener müssen ständig darauf achten, nicht die heißen Bauteile zu berühren.
Wir haben beschlossen, gegen diese Situation anzukämpfen – und stattdessen wurde eine direktionale Infrarotheizung eingesetzt.
Der Trick liegt in der Richtung.
Stellen Sie sich das wie eine Taschenlampe vor – statt eines Raumheizers. Infrarotlampen strahlen elektromagnetische Wellen in einer geraden Linie aus. Die Energie verteilt sich nicht im Raum, sondern wird nur dann weitergeleitet, wenn sie tatsächlich auf das Werkstück trifft. Dadurch wird sichergestellt, dass die Wärme direkt auf das Werkstück wirkt – ohne dass die Innenwände des Gerätekastens unnötig erhitzt werden.
Verringerung der thermischen Belastung
Wir verwenden Kurzwellen-Infrarotlampen, um das Wasser schnell von der Oberfläche zu entfernen. Die Strahlung dringt direkt in die Flüssigkeitsschicht ein – ohne dass der ganze Raum erst erhitzt werden muss. Dadurch bleibt die thermische Belastung gering. Und das Beste daran: Die Kühllüfter können endlich eine Pause machen – sie müssen nicht mehr auf Hochtouren arbeiten, um zu verhindern, dass die Elektronik beschädigt wird.
Der Nachteil (denn es gibt immer einen)
Direktionale Heizung erfordert Präzision. Wenn die Lampe nur um wenige Grad falsch ausgerichtet ist, wird das Werkstück nicht richtig erwärmt – stattdessen werden die Wände des Gerätekastens erhitzt. Deshalb dürfen die Befestigungselemente keinesfalls nachgeben – sie müssen absolut stabil sein. Außerdem werden die Hochintensitätslampen am Kopfteil extrem heiß. Es ist daher notwendig, einen speziellen Kühlkreislauf für den Gehäusebereich einzubauen – sonst kann es zum Bersten des Quarztubes durch thermischen Stress kommen.
Eine sicherere Arbeitsweise
Wenn die Wände kühl bleiben, wird das Leben für alle einfacher. Man muss sich keine Sorgen mehr um Verbrennungen während der Wartung oder beim Einsetzen der Wafer machen. Die Energie gelangt genau dorthin, wo sie hin soll – ins Produkt – und belastet die Geräte nicht unnötig.