Wie man einen Reinraum der Klasse 100 wirklich sauber hält
Wenn man in einem Reinraum der Klasse 100 arbeitet, ist das Letzte, was man braucht, ein Heizsystem, das wie eine „Konfettimaschine“ funktioniert. Die meisten herkömmlichen Heizgeräte sind ein Albtraum – sobald sie warm werden, beginnen sie, abzublättern oder VOC-Gase freizusetzen. Das ist zwar unsichtbar, aber es gibt diese Gase doch, und sie ruinieren alles. Wir haben einen Weg gefunden, dies zu verhindern – indem wir auf zwei Dinge achten: hochreine Quarzlampen sowie maßgefertigte Edelstahlkomponenten.
Warum wir synthetisches, gefügtes Quarz verwenden
Man kann es als den Goldstandard für Heizsysteme betrachten. Im Gegensatz zum billigen Glas in herkömmlichen Heizgeräten zerfällt dieses Material nicht und gibt auch keine mikroskopisch kleinen Partikel ab, wenn es heiß wird. So gibt es keine „Schneeflocken“ auf den Wafern – und auch keine unerwünschten Partikel auf den Substraten. Zudem strahlt das Infrarotlicht direkt auf das Zielobjekt ab. Man muss keinen künstlichen Luftstrom im Raum erzeugen – dadurch wird Staub nicht von einer Ecke in die andere geblasen.
Die Qualität der Konstruktion – wo die meisten Fehler auftreten
In der Regel ist genau die Hülle des Heizsystems der Punkt, an dem Fehler auftreten. Wir bauen unsere Geräte aus 316L-Edelstahl und polieren ihn bis zu einem spiegelglatten Finish. Warum? Weil die Poren im Metall im Grunde wie kleine „Hotels“ für Staub sind. Außerdem verbieten wir den Einsatz von Klebern und billigen Dichtungen. Alles wird mit TIG-Schweißen verbunden und anschließend gepasiviert. Es handelt sich dabei um eine saubere, nicht-reaktive Konstruktion. Wir verwenden sogar spezielle Anschlüsse, damit die elektrischen Kontakte nicht oxidieren und keine leitenden Rückstände hinterlassen.
Ein paar Dinge, auf die man achten muss
Hochreines Quarz ist spröde. Es kann große Temperaturschwankungen aushalten – doch wenn man es mit einem Schraubenschlüssel berührt, ist es ruiniert. Wenn Sie Ihre Halterungen entwerfen, stellen Sie sicher, dass es keinen Kontakt zwischen Metall und Quarz gibt. Wir verwenden PTFE- oder Keramikisolatoren, damit die Lampe „schwebt“. Das ist der einzige Weg, sie sicher zu halten.
Und noch etwas: Infrarotheizung ist sehr intensiv. Dadurch entsteht schnell viel lokaler Wärme. Wenn Sie die Belüftung sowie die Kühlung nicht richtig einstellen, kann das Gehäuse beschädigt werden. Überprüfen Sie daher unbedingt den Luftstrom, bevor Sie den Schalter einschalten.