Im Bereich der Lithografie ist eine sanfte Erhitzung bei 90 °C notwendig – selbst Abweichungen von 0,3 °C können dazu führen, dass die Linienbreiten im gesamten Produktionsprozess stark schwanken. Temperaturgleichmäßigkeit ist keine Option, sondern eine notwendige Voraussetzung.
Was technisch wichtig ist: Wir haben diesen Keramikhalter für Heizgeräte in der Verarbeitung von Fotoresisten entwickelt. Dabei ist die Wärmeabgabe sehr wichtig – außerdem darf die Anzahl der Partikel in den Reinräumen nicht zu hoch sein. Kurzwellige Halogenlampen befinden sich in einem hochreinen Keramikkörper, der eine gleichmäßige Strahlungswärme bereitstellt. Dadurch bleibt die Temperatur auf der Oberfläche des Wafern innerhalb von ±0,1 °C konstant.
Die Keramikkontakte sind gegen Ausgasungen geschützt, und die Geometrie des Halters sorgt dafür, dass es zu keinem Schattenwerfen oder zu thermischen Gradienten kommt. Dadurch wird eine zuverlässige Temperaturregulierung gewährleistet – auch bei 24/7-Betrieb.
Warum dieser Halter in der Produktion funktioniert: In den Stationen zur sanften bzw. intensiven Erhitzung muss die Temperaturkontrolle sowohl der Empfindlichkeit des Fotoresists als auch der Geschwindigkeit der Bearbeitung entsprechen. Der Halter sorgt dafür, dass die Temperaturprofile konstant bleiben – dadurch kann die Kontrolle der kritischen Abmessungen von Wafer zu Wafer gewährleistet werden.
Der Halter eignet sich perfekt für Reinräume der Klasse 1–100 – deren Oberflächen und Verbindungen keine Partikel abgeben. Die Vorteile liegen in weniger verschwendeten Wafern, weniger Nachbearbeitung sowie planbaren Arbeitszyklen. Dank der effizienten Verbindung mit dem Prozessraum bleibt der Energieverbrauch gering. Zudem gleicht die thermische Trägheit der Keramik die Schwankungen aus, wenn man unterschiedliche Rezepturen verwendet.
Praktische Details: Die Installation erfordert eine präzise Ausrichtung bezüglich des Heizeblocks sowie sicherzustellen, dass die Lampe richtig eingebaut ist – sonst entstehen Hotspots. Die Keramik ist zwar robust, aber brüchig. Sie sollte daher mit geeigneten Hilfsmitteln behandelt werden, um mechanische Belastungen zu vermeiden.
Überprüfen Sie unbedingt Spannung und Anschlusskompatibilität mit Ihrem Heizegerät. Stellen Sie außerdem sicher, dass die Wärmeabgabe mit den Anforderungen des Fotoresists übereinstimmt. Führen Sie nach der Installation sowie alle 250 Stunden einen Partikelzählertest durch, damit sichergestellt werden kann, dass der Halter keine Quelle für Kontaminationen darstellt.