碳化硅 SiC 炉灯

在光刻过程中，光阻烘烤其实是一种对温度精度要求极高的工序。必须将温度控制在±0.1℃的范围内，因为任何温度偏差都可能导致光阻层质量下降，进而使晶圆变成废品。如果加热灯的性能不佳，就会带来诸多问题——需要重新加工、产生废品，还会导致生产中断。因此，我们设计了这种碳化硅加热灯，使其能够持续稳定地工作。...