超高纯度加热灯

正确控制晶圆的加热效果 在半导体制造环境中，“清洁”并非可选项，而是至关重要的要求。因此，我们会使用超高纯度加热灯。 当对硅晶圆进行加热时，希望每一个光子都能照射到晶圆表面。如果让能量浪费在加热腔体壁面上，那就相当于浪费金钱和能源。 为什么选择黄金反射层？ 有些人会使用普通的铝制反射器，但这类反射...