如何在加热过程中保持100级洁净室的洁净状态？ 在为智能传感器进行封装时，“洁净”并非一个单纯的追求目标，而是至关重要的前提。在100级洁净环境中，哪怕只有一小片氧化金属颗粒或一粒灰尘，都足以毁掉整批产品。这真是个糟糕的情况。 问题在于：大多数普通加热元件实际上都是“颗粒生成器”。每当它们加热或冷...

在智能工厂中准确获取温度数据 如果想要打造一个真正的智能工厂，那么首先就要摒弃使用接触式传感器。真的。 在高效能的晶圆处理设备中，接触式传感器所带来的延迟问题实在难以忍受。此外，将物理探针插入晶圆表面还会导致污染问题。因此，我们选择使用红外线传感器。它们能够实时采集温度数据，而无需直接接触晶圆，这...