防止半热处理过程中的能量浪费 说实话，传统意义上的洁净室烤箱其实不过是巨大的加热器罢了——它们试图让整个房间都变暖，只为了将几片晶圆加热到合适的温度。这样一来，空气、墙壁、天花板都会被加热，唯独那些真正需要加热的部件却得不到有效的加热。这无疑是极大的能源浪费。 因此，我们开始转向红外线加热技术。与...

在半导体制造过程中减少碳排放：为何我们选择使用红外灯 说实话，半导体制造过程中，热量控制是个大难题。虽然需要极高的精确度，但实现这一目标往往意味着要消耗大量能源。长期以来，人们一直认为传统对流式烤箱和电阻加热器才是可行的解决方案。不过，这类设备效率低下、速度慢，而且还会浪费大量能量。 因此，我们开...

防止洁净室设备过热 大多数人只是使用对流式加热器来加温。但在半导体生产环境中，这种做法只会带来麻烦。为什么呢？因为热量容易四处扩散。当空气被加热后，所有物体都会变热。机器的内部墙壁也会变得非常烫，以至于人们根本无法触摸它们。此外，这还会扰乱整个洁净室的温度平衡，造成混乱状况。 更好的解决方案 我们...

应对化学清洗区域中的火灾风险 在升级洁净室时，化学清洗环节可能会带来安全隐患。因为这里使用的是易燃溶剂，如果只是简单地使用普通红外灯，那就相当于为火灾创造了条件。这无疑是一种巨大的风险。因此，我们会为红外加热元件设计特殊的封装结构——这种结构实际上是一种保护壳，能够防止意外发生。 保护机制的具体原...

为什么在晶圆加热器中使用镀金反射器 在处理半导体洁净室中的晶圆加热器时，我们真正关心的只有一件事：如何将热量有效地传递到晶圆上。我们可不想把精力或预算浪费在加热机器的金属外壳上。 这时，镀金技术就派上用场了。 镀金的优势 如果使用普通的铝制反射器，大量的能量会被浪费掉——这些能量要么被吸收，要么散...