用于晶圆的精密红外传感器

防止玻璃碎片损坏晶圆 在一家大规模半导体制造工厂里，如果灯泡发生爆炸，那可不仅仅是麻烦或短暂的生产中断而已——那简直就是一场噩梦。 当红外灯管破裂时，石英碎片和卤素气体就会溅到晶圆上。一旦发生这种情况，整批晶圆都会报废。我们花了大量时间来研究如何避免这种状况的发生，重点在于选择合适的材料以及确保灯...