用于半导体加热器的特氟龙线

别再等待烤箱升温了：为什么在半导体加工中，红外线技术比热风技术更优？ 我仍然看到很多半导体生产线仍在使用热风循环系统。这种情况在较老的设备中很常见，但这样的方式效率实在低得可怜。 空气本身并不擅长传递热量。因此，我们必须等待漫长的时间，让整个腔体升温，然后再等待热量真正渗透到晶圆上。这真是浪费时间...