中波石英加热管

在300mm产线上，光刻胶烘烤性能是叠层对准和关键尺寸（CD）均匀性的关键控制点。软烘或硬烘过程中晶圆表面温度漂移几摄氏度，就可能导致关键尺寸超出规格，造成数小时的工时报废。加热器必须快速达到设定点，稳定保持，无振荡，并且绝不向腔体内散发颗粒。 核心要点 我们采用中波石英加热管，实现快速的辐射加热...