用于加热器的陶瓷灯座

在光刻工艺中，即使温度仅有0.3°C的波动，也会导致整个批次中线宽出现偏差。因此，温度的均匀性并非可选项，而是一种必须满足的严格要求。 技术上至关重要的因素 我们设计的这种陶瓷灯座，是专为光刻工艺中的加热器而设计的。在这种应用中，对温度控制的要求极为严格，同时洁净室内的颗粒数量也必须控制在一定范围...