MEMS传感器晶圆干燥加热器

如何让MEMS晶圆保持干燥，而无需担心各种问题？ 在制造MEMS传感器时，最不希望看到的就是有水滴或溶剂残留物损坏晶圆。不过，也不能直接用高温来处理晶圆——那样会导致材料受损，还会留下各种残留物。 因此，我们选择使用短波红外线加热器。与传统的加热方式不同，红外线可以直接将能量传递到晶圆上，无需浪费...