Ngăn chặn các bóng đèn hồng ngoại gây hư hại cho các tấm wafer của bạn
Nếu bạn từng gặp tình trạng bóng đèn hồng ngoại bị nổ trong quá trình sản xuất, bạn sẽ hiểu rằng đó là một cảnh tượng kinh khủng. Vấn đề không chỉ nằm ở thời gian ngừng máy mà thôi. Khi ống thủy tinh bị vỡ, nó sẽ biến thành những mảnh vỡ và mảnh kim loại rải rác khắp nơi. Điều này khiến các tấm wafer quý giá của bạn bị nhiễm bẩn, và toàn bộ sản phẩm sẽ phải bị vứt bỏ. Thật là hỗn loạn.
Chúng tôi thiết kế các bộ sưởi dành cho tấm wafer sao cho điều này không xảy ra.
Đối phó với áp lực nhiệt
Hầu hết các trường hợp, bóng đèn bị nổ là do sự thay đổi đột ngột về điện áp hoặc sự giãn nở nhiệt không đồng đều. Để khắc phục điều này, chúng tôi sử dụng thủy tinh tổng hợp có độ tinh khiết cao. Loại thủy tinh này rất bền, có thể chịu được áp lực nhiệt cao mà không bị vỡ.
Chúng tôi cũng chú trọng đến việc định vị chuẩn xác sợi dây tóc bên trong bóng đèn. Nếu sợi dây tóc bị lệch dù chỉ một chút, thì sẽ xuất hiện những điểm nóng, và đó chính là nguyên nhân gây hư hại cho tấm wafer.
Một điều nữa: hãy chú ý đến nguồn cung cấp điện. Nếu điện áp không ổn định, sợi dây tóc trong bóng đèn sẽ bị cháy sớm hơn dự kiến. Chúng tôi thường khuyến nghị sử dụng các bộ điều khiển PID chính xác để duy trì nhiệt độ ổn định.
Ngăn chặn các mảnh vỡ xâm nhập vào tấm wafer
Để đảm bảo rằng các mảnh vỡ thủy tinh không thể tiếp xúc được với tấm wafer, chúng tôi sử dụng lớp bảo vệ kép. Chúng tôi đặt bóng đèn bên trong một lớp vỏ bằng thủy tinh cứng cáp. Điều này giúp giữ các mảnh vỡ lại, tránh gây hư hại cho tấm wafer.
Chúng tôi cũng chú trọng đến việc đảm bảo độ kín của các bộ phận liên quan. Chúng tôi sử dụng các nắp đặc biệt để ngăn khí halogen thoát ra ngoài. Điều này giúp duy trì trạng thái ổn định của hóa chất bên trong bóng đèn, giúp bóng đèn hoạt động lâu hơn.
Ngoài ra, chúng tôi không sử dụng các loại keo rẻ tiền. Ở nhiệt độ cao, các loại keo này sẽ giải phóng khí, tạo ra lớp sương mù trên bề mặt tấm wafer, gây hư hại cho quá trình tổng hợp lớp màng mỏng. Điều này thật không tốt chút nào.
Những điểm cần lưu ý
Điểm yếu của các bộ sưởi hồng ngoại độ dày cao là chúng tạo ra lượng nhiệt lớn. Bạn cần phải sử dụng các quạt làm mát và bộ phận hấp thụ nhiệt hiệu quả. Nếu vỏ bóng đèn quá nóng, các phụ kiện đỡ bóng đèn có thể bị biến dạng. Khi đó, điểm tập trung nhiệt sẽ thay đổi, dẫn đến sự phân bố nhiệt không đồng đều trên tấm wafer.
Tóm lại, mọi thứ đều cần được cân bằng.