Trên dây chuyền 300mm, một biến thiên 0.3°C trong quá trình nướng photoresist là sự khác biệt giữa một lượt chạy được kiểm soát và một lô hàng bị...

Trên tầng lithography, bạn biết quy trình như thế nào: một bóng đèn máy sấy wafer dao động chỉ 0.2°C cũng có thể làm lệch kích thước quan trọng...