Hãy ngừng lãng phí nhiệt lượng trong quá trình xử lý wafer
Vấn đề với các bóng đèn hồng ngoại thông thường là chúng tỏa nhiệt ra mọi hướng. Khi làm việc trong buồng xử lý bán dẫn, điều này chính là sự lãng phí năng lượng. Nếu không có bộ phản xạ, một lượng lớn nhiệt sẽ chiếu vào các bức tường của thiết bị, thay vì chiếu vào wafer. Điều này gây ra nhiều rắc rối; các bộ phận bên trong thiết bị sẽ bị nóng quá mức, có thể gây hại cho người vận hành hoặc làm biến dạng các bộ phận cần được xử lý một cách chính xác.
Đưa nhiệt lượng đến đúng nơi cần thiết
Chúng ta giải quyết vấn đề này bằng cách sử dụng các bộ phản xạ chính xác để chỉnh hướng sóng hồng ngoại. Hãy tưởng tượng đó như một chiếc đèn pin thay vì một bóng đèn thông thường. Bằng cách phản xạ ánh sáng trở lại về phía mục tiêu, chúng ta có thể tập trung nhiệt lượng lên bề mặt wafer, mà không làm nóng toàn bộ thiết bị. Như vậy, các bộ phận bên trong thiết bị vẫn giữ được nhiệt độ ổn định, và năng lượng được sử dụng một cách hiệu quả.
Lựa chọn vật liệu phù hợp
Tùy thuộc vào bước sóng của bóng đèn, bạn có thể chọn kim loại nhôm có độ tinh khiết cao hoặc thạch anh được phủ vàng. Vàng là vật liệu lý tưởng cho sóng hồng ngoại dài, nhưng giá thành của nó khá cao. Đối với các bóng đèn phát sóng ngắn, nhôm là lựa chọn tốt nhất – nó đáng tin cậy và có thể hoàn thành công việc một cách hiệu quả.
Điểm quan trọng cần lưu ý
Điểm quan trọng nhất là khoảng cách giữa bóng đèn và wafer. Nếu khoảng cách quá gần, sẽ xuất hiện những điểm nóng, làm hỏng wafer. Nếu khoảng cách quá xa, tia sáng sẽ lan ra, và bạn sẽ mất đi tính chính xác của tia sáng.
Ý nghĩa của điều này đối với quy trình sản xuất
Điều tuyệt vời nhất là bạn có thể sử dụng bóng đèn với công suất thấp hơn, mà vẫn đạt được nhiệt độ mong muốn. Các quạt làm mát cũng không cần phải hoạt động quá mức, điều này rất có lợi cho toàn bộ quy trình sản xuất. Tuy nhiên, bạn cần chú ý kiểm soát nhiệt độ một cẩn thận. Nếu không, nhiệt độ có thể vượt quá mức cho phép, gây hư hại cho wafer. Nhưng nếu bạn kiểm soát tốt, thiết bị của bạn sẽ luôn giữ được nhiệt độ ổn định.