Ngăn chặn việc thiết bị trong phòng sạch bị quá nhiệt
Hầu hết mọi người chỉ sử dụng các thiết bị sưởi thông thường để làm ấm không khí. Nhưng trong môi trường sản xuất semiconductor, cách này gây ra nhiều vấn đề. Tại sao ư? Bởi vì nhiệt lượng có xu hướng lan tỏa khắp nơi. Khi bạn làm nóng không khí, mọi thứ xung quanh đều trở nên nóng lên. Các bức tường bên trong máy móc cũng trở nên rất nóng, khiến cho bề mặt máy trở nên nguy hiểm nếu chạm vào. Không những vậy, điều này còn ảnh hưởng đến nhiệt độ tổng thể của phòng sạch. Thật là rối rắm.
Cách tốt hơn
Chúng tôi nhận thấy rằng việc sử dụng đèn hồng ngoại bước sóng ngắn là giải pháp tốt nhất. Hãy coi đó như một chiếc đèn pin, chứ không phải thiết bị sưởi thông thường. Ánh sáng hồng ngoại lan truyền theo đường thẳng. Bạn chỉ cần chiếu đèn vào wafer hoặc vật liệu cần được gia nhiệt; năng lượng sẽ được truyền trực tiếp đến vị trí cần thiết. Không khí xung quanh và các bức tường của máy móc vẫn giữ được nhiệt độ ổn định, vì chúng không hấp thụ bước sóng ánh sáng đó như vật liệu cần được gia nhiệt.
Làm sao để thiết lập đúng cách
Bạn cần một nguồn năng lượng lớn trong một không gian nhỏ. Đó là lý do tại sao chúng tôi thường sử dụng ống halogen thạch anh. Chúng có thể đạt nhiệt độ cao một cách nhanh chóng, vì vậy bạn không cần phải sử dụng những bộ phận sưởi to và cồng kềnh. Nhưng điều quan trọng là bạn phải điều chỉnh khoảng cách phù hợp. Nếu đèn quá gần, bạn sẽ gặp phải những điểm nóng gây hỏng hóc thiết bị. Nếu đèn quá xa, bạn sẽ mất đi lợi ích của việc sử dụng ánh sáng laser. Chúng tôi thường sử dụng các tấm phản xạ để giữ cho ánh sáng tập trung vào vật liệu cần được gia nhiệt, tránh để năng lượng lan ra ngoài.
Những hạn chế
Không có gì là hoàn hảo cả. Những chiếc đèn này tiêu thụ rất nhiều điện năng và trở nên cực kỳ nóng ngay tại nguồn phát sáng. Dĩ nhiên, phần vỏ bên ngoài của máy vẫn giữ được nhiệt độ ổn định, nhưng phần vỏ đèn thì bị nóng lên rất nhiều. Bạn cần đảm bảo rằng các quạt làm mát hoặc hệ thống làm mát bằng nước hoạt động tốt. Nếu hệ thống làm mát không hoạt động tốt, đèn sẽ bị hỏng nhanh hơn dự kiến. Và xin đừng sử dụng dây điện loại PVC thông thường; chúng sẽ bị nóng chảy. Hãy sử dụng dây điện loại PTFE hoặc sợi thủy tinh để tránh tình trạng dây điện bị nóng chảy.