Đảm bảo lượng nhiệt được truyền đến wafer một cách hiệu quả trong quy trình xử lý wafer Trong các nhà máy sản xuất chip, việc lãng phí năng lượng...

Trong quy trình xử lý phim cảm quang, việc kiểm soát nhiệt độ được thực hiện thông qua các con số đo lường. Chỉ cần có sự thay đổi nhiệt độ 2°C trong...

Trên dây chuyền 300mm, hiệu suất nung photoresist là yếu tố then chốt đảm bảo sự đồng đều về overlay và kích thước nét (CD). Chỉ cần lệch vài độ trên...