Menghentikan kebocoran tenaga dalam proses separa termal
Sejujurnya, ketuhar yang digunakan di bilik bersih jenis lama sebenarnya merupakan pemanas besar yang berfungsi untuk memanaskan seluruh ruangan, hanya untuk memastikan wafer berada pada suhu yang sesuai. Udara, dinding, siling – semuanya dipanaskan, kecuali bahagian yang sebenarnya perlu dipanaskan. Ini merupakan pembaziran tenaga yang sangat besar.
Itulah sebabnya kita beralih kepada kaedah pemanasan menggunakan gelombang inframerah (IR). Daripada memanaskan seluruh ruangan, kita hanya perlu memanaskan wafer atau substrat secara langsung. Ini merupakan cara yang lebih efisien dan bijak untuk bekerja.
Kekuatan pemanasan yang disasarkan
Gelombang inframerah merupakan bentuk radiasi. Bayangkanlah seperti sinar matahari yang menyentuh kulit kita pada hari yang sejuk; udara masih sejuk, tetapi kita tetap merasakan kehangatan tersebut. Kita tidak perlu menunggu udara di sekeliling panas terlebih dahulu, jadi masa yang diperlukan untuk memanaskan bahan juga berkurangan. Segala-galanya akan menjadi lebih cepat.
Tergantung pada jenis bahan yang digunakan, kita biasanya menggunakan pengeluarkan gelombang pendek atau sederhana. Jika bahan yang digunakan tebal, gelombang pendek lebih sesuai kerana ia dapat menembusi bahan tersebut dengan lebih baik. Untuk bahan yang nipis, gelombang sederhana memberikan pemanasan yang lebih lembut dan terkawal.
Dengan cara ini, penggunaan tenaga untuk setiap wafer akan berkurangan. Jejak karbon yang dihasilkan juga berkurangan, dan bil tenaga yang perlu dibayar juga akan menjadi lebih rendah.
Mengatasi masalah di bilik bersih
Kita semua tahu betapa pentingnya kebersihan di bilik bersih. Sebarang habuk pun boleh merosakkan keseluruhan produk yang dihasilkan. Untuk memastikan kebersihan, lampu-lampu tersebut dilindungi oleh lapisan kuarsa. Dengan cara ini, tiada lagi habuk atau bahan cemar yang boleh merosakkan komponen-komponen tersebut. Kami juga menggunakan pengawal PID yang sangat tepat agar komponen-komponen tersebut tidak rosak akibat pemanasan yang berlebihan.
Namun, perlu diingat bahawa intensiti haba yang dihasilkan oleh sistem IR ini sangat tinggi. Jika sistem penyejukan tidak mencukupi, haba tersebut boleh merosakkan struktur ketuhar atau mengganggu fungsi sensor-sensor yang ada. Ia merupakan alat yang sangat berkuasa, jadi kita perlu berhati-hati semasa menggunakannya.
Manfaat sebenar
Yang paling baik ialah kita dapat menggunakan ruang yang ada dengan lebih efektif. Kita boleh menggantikan ketuhar konvensional yang besar dengan ketuhar IR yang lebih kompak. Ini merupakan penyelesaian yang sempurna – kita dapat menjimatkan ruang, dan sistem HVAC juga tidak perlu bekerja keras untuk menyejukkan ruangan tersebut. Ini merupakan cara termudah untuk memiliki “kilang hijau” tanpa mengorbankan kualiti produksi.