Mendapatkan lebih banyak haba di tempat yang sebenarnya diperlukan
Ketika bekerja dalam keadaan vakum, kita sebenarnya sedang berperang melawan hukum fizik. Kita tidak boleh bergantung pada udara untuk mengalirkan haba – proses konveksi tidak akan berlaku. Yang tinggal hanyalah radiasi, dan itulah yang menyebabkan masalah.
Setiap watt tenaga yang tidak sampai ke wafer tersebut merupakan haba yang terbuang sia-sia. Ini merupakan masalah besar, kerana penyejuk dan pam vakum perlu bekerja keras untuk menghilangkan haba tersebut. Untuk mengelakkan pembaziran tenaga ini, kami mula menggunakan reflektor yang dilapisi emas pada pemanas inframerah kami.
Mengapa emas?
Kebanyakan orang memilih aluminium sebagai bahan reflektor, tetapi sebenarnya aluminium membiarkan terlalu banyak tenaga inframerah meresap masuk. Emas pula sangat efektif dalam memantulkan tenaga inframerah jarak panjang. Ia seperti cermin berkualiti tinggi. Daripada lampu yang memancarkan haba ke semua arah, emas akan mengarahkan seluruh tenaga tersebut ke wafer. Dengan cara ini, suhu yang diinginkan dapat dicapai dengan lebih cepat, tanpa perlu meningkatkan kuasa lampu.
Masalah dalam keadaan vakum
Dalam keadaan vakum, tiub lampu seolah-olah berada di sebuah pulau yang terpisah dari udara. Ia tidak dapat “bernafas” atau melepaskan haba ke udara. Jika kita memberikan kuasa yang tinggi pada kawasan yang kecil, filamen lampu akan rosak atau kaca kristalnya akan pecah. Ini bukanlah situasi yang baik.
Kami menyelesaikan masalah ini dengan mengubah geometri reflektor tersebut. Tujuannya bukanlah untuk membuat lampu menjadi lebih panas – itu akan membawa bencana. Tujuannya adalah untuk mengalirkan tenaga dengan lebih efisien. Dengan cara ini, lampu tetap sejuk dan selamat, sementara wafer tetap mendapat haba yang diperlukan.
Kelemahan penggunaan emas
Emas bukanlah “sihir”. Harganya mahal, dan kos bahan bakunya juga meningkat. Selain itu, emas juga sensitif. Jika ruang bekas pemprosesan mempunyai masalah gas atau kotoran, zarah-zarah tersebut akan melekat pada permukaan emas. Apabila lapisan emas menjadi kusam, reflektivitinya akan menurun, dan proses pemanasan akan menjadi tidak sekata.
Jika anda ingin proses ini berjalan lancar, anda perlu memastikan ruang pemprosesan bersih sepenuhnya. Pastikan emas tetap bersih, agar prosesnya berjalan dengan cepat.