Hentikan peralatan bilik bersih daripada terlalu panas
Kebanyakan orang menggunakan pemanas konvektif untuk memanaskan benda-benda tersebut. Namun, dalam persekitaran semikonduktor, cara ini akan menyebabkan masalah. Mengapa? Kerana haba mudah merebak ke mana-mana sahaja.
Apabila udara dipanaskan, segala benda akan menjadi panas. Dinding dalaman mesin juga akan menjadi panas, sehingga permukaan luar mesin menjadi berbahaya untuk disentuh. Selain itu, ia juga akan mengganggu suhu keseluruhan bilik bersih tersebut. Ini merupakan situasi yang kacau.
Cara yang lebih baik
Kami mendapati bahawa lampu inframerah gelombang pendek merupakan cara yang terbaik. Ia berfungsi seperti lampu suluh, bukannya pemanas biasa. Cahaya inframerah bergerak dalam garis lurus. Anda hanya perlu mengarahkan lampu tersebut ke wafer atau substrat yang ingin dipanaskan, dan tenaga tersebut akan sampai ke tempat yang sepatutnya. Udara di sekeliling serta dinding mesin tetap sejuk, kerana mereka tidak menyerap gelombang cahaya tersebut seperti yang dilakukan oleh objek yang dipanaskan.
Memastikan penyesuaian yang tepat
Anda memerlukan banyak tenaga dalam ruang yang kecil. Itulah sebabnya kami biasanya menggunakan tiub kuarsa-halogen. Tiub ini dapat mencapai suhu yang tinggi dengan cepat, jadi anda tidak perlu menggunakan elemen pemanas yang besar dan berat.
Namun, ada satu perkara penting yang perlu diperhatikan: jarak antara lampu dan objek yang dipanaskan haruslah tepat. Jika lampu terlalu dekat, ia akan menyebabkan kawasan tertentu menjadi terlalu panas, sehingga merosakkan hasil kerja anda. Jika lampu terlalu jauh, efek fokus laser akan hilang. Kami biasanya menggunakan reflektor untuk memastikan tenaga tersebut hanya sampai ke objek yang dipanaskan sahaja.
Kelemahan
Tidak ada apa-apa yang sempurna. Lampu berkepadatan tinggi ini memerlukan arus elektrik yang banyak, dan ia akan menjadi sangat panas. Walaupun kotak luar mesin tetap sejuk, namun bahagian lampu sendiri akan menjadi sangat panas. Anda perlu memastikan kipas penyejuk atau sistem penyejukan air berfungsi dengan baik. Jika sistem penyejukan gagal, lampu tersebut akan rosak lebih cepat daripada yang sepatutnya.
Dan demi Tuhan, jangan gunakan kabel PVC biasa. Ia akan cair akibat panas. Gunakan kabel jenis PTFE atau serat kaca agar kabel tersebut tidak cair akibat panas.